关闭光源
单色光
白光
光源同侧
异侧观察
参考直纹
凸起:条纹向厚端弯曲
平整
局部凸起
局部凹陷
波纹面
3D
俯视条纹
剖视空气膜
拖动旋转视角 · 滚轮缩放 · 点击工件读取局部膜厚
纳米级形变与空气膜厚度已限幅夸大显示
检测位置
凸起中心
表面偏差
+300 nm
条纹偏移
1.02 条
Δh = ΔN · λ / 2
实际条纹
平整参考纹
薄端
厚端
波长
589 nm
劈尖角
15″
表面偏差
300 nm